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| 品牌 | 其他品牌 | 產地 | 進口 | 
|---|---|---|---|
| 加工定制 | 否 | 
1479A MKS質量流量計采用全金屬密封設計,做工堅固。適用于有毒和腐蝕性氣體。1479A流量計連接適當壓力傳感器可作壓力控制器。1479A的精度為滿量程的±1%。
1479A選型:1479A00411CR1A6MXX
前綴  | 編碼  | 
1479A  | 1479A  | 
氣體選擇  | |
Helium, He  | 001  | 
Argon, Ar  | 004  | 
Hydrogen, H2  | 007  | 
Nitrogen, N2  | 013  | 
Oxygen, 02  | 015  | 
流量選擇  | |
10  | 11C  | 
20  | 21C  | 
50  | 51C  | 
100  | 12C  | 
200  | 22C  | 
500  | 52C  | 
1000  | 13C  | 
2000  | 23C  | 
5000  | 53C  | 
10000  | 14C  | 
20000  | 24C  | 
接口法蘭選擇  | |
標準Swagelok 4VCR 公頭  | R  | 
可選擇VCO管  | G  | 
可選擇Swagelok 1/4"管  | S  | 
C-密封表面支架如SEMI2787.1  | C  | 
W-密封表面支架如SEMI2787.3F  | H  | 
閥門選擇  | |
通常情況關閉  | 1  | 
電通訊連接方式  | |
模擬接口  | |
9針“D"類型  | A  | 
15針“D"類型  | B  | 
20針“D"類型  | C  | 
數字接口  | |
RS-485  | 5  | 
DeviceNetTM  | 6  | 
密封選擇  | |
金屬,在200sccm以下流量的用Kel-F閥塞,在500sccm以上的用杜邦閥塞  | M  | 
版本-*總線適配器  | N  | 
除了客戶,MKS公司將給當前的版本  | B  | 
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