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EBS-530 電子束掃頻控制器會生成大量與電子束 （e-beam） 沉積源配合使用的精密掃頻圖案。

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HVPS/SC 是固態高壓電源，具有在電子束 （e-beam） 真空沉積系統中使用的集成源控制器。 其革命性的設計使其成為市場上zui小、zui有效并且功能豐富的高壓電源之一。

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IC6薄膜沉積控制器通過將INFICON薄膜控制器的成熟性能與功能相結合，提供的價值，所有這些都旨在讓您從沉積過程中獲得大收益。IC6 使用我們的 ModeLock 頻率測量系統，以速率分辨率（每 1/10 秒 0.00433 Å/s）提供穩定、高分辨率的速率和厚度測量。