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在半導體制造中,工藝的穩(wěn)定性直接決定了良率與產(chǎn)能。然而,那些難以被察覺的微小泄漏,卻可能在真空系統(tǒng)、氣體管路或腔體密封中悄然發(fā)生,成為導致良率波動、計劃外停機甚至整批次損失的隱性根源——這不僅拖慢了生產(chǎn)節(jié)奏,更在不知不覺中侵蝕著您的利潤與競爭力。


英福康深知,在芯片制造邁向更精密、更集成的今天,泄漏檢測已不僅是“檢測",更是“守護"。我們提供泄漏檢測解決方案,精準鎖定從真空系統(tǒng)到復雜設備中的泄漏點,助您堵住產(chǎn)能漏洞,確保制造過程穩(wěn)定、純凈、高效。
精準檢漏確保半導體工藝所依賴的真空環(huán)境穩(wěn)定可靠。即使是極微小的泄漏也能被識別與修復,保障芯片特性的wan mei實現(xiàn)。
采用示蹤氣體進行泄漏檢測,是一種清潔無污染的方法,符合潔凈室標準,有效防止顆粒與污染物侵入。
借助示蹤氣體等xianjin技術,即使在結構復雜的半導體設備中,也能快速準確地定位泄漏源,適應多種設備配置。
具備ji gao靈敏度的檢漏系統(tǒng),可捕捉最小泄漏信號,確保制造過程中的材料純度,防止缺陷產(chǎn)生。
英福康檢漏方案與半導體材料wan quan兼容,避免因檢測過程引起的材料損傷或性質(zhì)變化。
可靠的檢漏系統(tǒng)能在極短時間內(nèi)提供準確結果,助力半導體制造實現(xiàn)高產(chǎn)能。快速發(fā)現(xiàn)并處理泄漏,zuida限度減少停機時間。
系統(tǒng)支持與自動化產(chǎn)線集成,提供實時反饋,實現(xiàn)持續(xù)監(jiān)控與即時響應,提升整體設備效率(OEE)。
英福康在確保檢測準確性的同時,注重成本控制,為客戶提供經(jīng)濟可靠的泄漏檢測選擇。


作為UL移動式氦氣檢漏儀產(chǎn)品組合中的旗艦型號,UL6000 Fab系列專為半導體工廠中的大型工藝工具設計,同時也適用于太陽能電池制造、平板顯示器以及片到片或卷到片鍍膜中的大型鍍膜工具。它在所有測量范圍內(nèi)都能提供行業(yè)響應速度,實現(xiàn)極短的測試周期,使泄漏檢測既準確又高效。設備采用緊湊型設計,占地面積小,即使在空間嚴苛的半導體制造廠中,也能確保zuijia的操作性與工作空間,從而實現(xiàn)對昂貴潔凈室空間的zuidahua利用。

該系列移動式氦氣檢漏儀專為滿足半導體工廠中大多數(shù)工具的檢漏需求而打造。它以靈活性、高移動性、快速啟動、高靈敏度、快速精確的測試結果和可靠耐用著稱。與UL6000 Fab一樣,其緊湊設計確保了在現(xiàn)代化工廠嚴格空間要求下的優(yōu)異操作性與工作空間效率。

此系列是工業(yè)及半導體環(huán)境中經(jīng)濟型氦氣真空檢漏的gongren標準,尤其適用于較小的真空室。它在高性能、堅固性和優(yōu)異經(jīng)濟性之間實現(xiàn)了zuijia平衡。

這是一款移動式、無線的氦氣噴槍,專為在現(xiàn)代半導體工廠中實現(xiàn)更快、更簡單、更高效的精準漏點定位而設計。通過消除軟管和手動流量調(diào)節(jié),它大幅增強了操作員的靈活性并減少了測試誤差。兼容全系列UL檢漏儀,即便在狹窄設備空間和苛刻潔凈室環(huán)境中,也能確保穩(wěn)定可靠的噴射性能。
英福康,以精準檢漏守護每一步制程,讓芯片制造更可靠、更高效。
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