MKS1179A質(zhì)量流量計(jì)的技術(shù)參數(shù)：

 

1179A是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器，可在多種應(yīng)用場合測量和控制氣體的流量，特別是可重復(fù)性要求高的場合。配上合適的壓力控制器，它還可以作為壓力控制器使用。參數(shù)如下：

 

控制量程：2% to 的全量程。

測量精度：全量程的1%

靈 敏 度 ：全量程的0.1%

熱機(jī)時間：小于2Min.

響應(yīng)速度：小于2Sec.

輸入電壓：±15VDC@100ma

輸出電壓：0-5VDC

連 接 器 ：模擬： 9Pin或15Pin或20Pin Card edge.

             數(shù)字：RS485或Device net或Profibus

法蘭接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4”等

材      質(zhì)：316 不銹鋼。

全 量 程 ：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM。